Questo sito utilizza cookie tecnici e di terze parti. Se vuoi saperne di più o negare il consenso consulta l'informativa sulla privacy. Proseguendo la navigazione o cliccando su "Chiudi" acconsenti all'uso dei cookie. Chiudi
vai al contenuto vai al menu principale vai alla sezione Accessibilità vai alla mappa del sito
Login  Docente | Studente | Personale | Italiano  English
 
Home page

CHIMICA E PROCESSI PER LA MICROELETTRONICA

Corso Ingegneria Elettronica
Curriculum Curriculum unico
Orientamento Orientamento unico
Anno Accademico 2014/2015
Crediti 6.00
Settore Scientifico Disciplinare CHIM/07
Anno Primo anno
Unità temporale Secondo semestre
Ore aula 48
Attività formativa Attività formative affini ed integrative

Canale Unico

Docente ANDREA DONATO
Obiettivi N.D.
Programma Programma dettagliato
I semiconduttori. La struttura cristallina. Legami covalenti. Bande di energia. Concentrazione dei portatori intrinseci. Donatori e accettatori.
Processi tecnologici di lavorazione di materiali semiconduttori. Tecnologia microelettronica del silicio e del GaAs. Crescita del cristallo dal materiale fuso. Lavorazione della fetta e caratterizzazione del materiale. Epitassia da fase vapore. Epitassia da fase liquida. Epitassia da fasci molecolari. Ossidazione termica. Deposizione dielettrica. Deposizione di silicio policristallino. Metallizzazione.
Fondamenti della teoria della diffusione. Processi legati alla diffusione. Distribuzione e profondità media di ioni impiantati. Disordine reticolare e ricottura. Processi collegati all’impiantazione.
Fotolitografia. Circuiti ibridi a film spesso. Circuiti ibridi a film sottile. Tecniche di deposizione di film sottili. Tecnologia dei dispositivi elettronici integrati su silicio. Micromachining. Deposizione in plasma.
Richiami generali di chimica organica. Metodi di preparazione, caratteristiche e reattività dei polimeri. I materiali polimerici per l’elettronica. Materiali per optoelettronica. Fabbricazione di guide d’onda. I polimeri conduttori. I polimeri semiconduttori.
Caratterizzazione dei materiali semiconduttori: microscopia elettronica e microanalisi, caratterizzazioni strutturali, elettriche ed ottiche.
Testi docente Testi consigliati
G. Soncini, Tecnologie microelettroniche, Ed. Boringhieri, 1985
S. M. Sze, Dispositivi a semiconduttore: Comportamento fisico e tecnologia, Ed. Hoepli , 1991
S. Wolf, R. Tauber, Silicon Processing, Lattice Press, 1986
H.Hart , CHIMICA ORGANICA (Ed. Zanichelli)
Erogazione tradizionale Si
Erogazione a distanza No
Frequenza obbligatoria No
Valutazione prova scritta No
Valutazione prova orale Si
Valutazione test attitudinale No
Valutazione progetto No
Valutazione tirocinio No
Valutazione in itinere No
Prova pratica No

Ulteriori informazioni

Nessun materiale didattico inserito per questo insegnamento

Elenco dei ricevimenti:

Descrizione Avviso
Ricevimenti del docente: Andrea Donato
martedi dalle 15:00 alle 17:00


Si consiglia in ogni caso di contattare il docente tramite e-mail per concordare l'orario più opportuno.
Nessun avviso pubblicato
Nessuna lezione pubblicata
Salita Melissari - 89124 Reggio Calabria - CF 80006510806 - Fax 0965 332201 - URP:Indirizzo di posta elettronica dell'ufficio relazioni con il pubblico- PEC:Indirizzo di posta elettronica certificata dell'amministrazione
Feed RSS Facebook Twitter YouTube Google+

PRIVACY - NOTE LEGALI